一种微波频段高磁导率、低磁损耗合金软磁颗粒及其制备方法

摘要

本发明涉及在微波频段具有高磁导率、低磁损耗的合金软磁颗粒的制备方法，该方法采用磁控溅射，在涂有可溶缓冲层的Si片上制作图案化的片状合金软磁颗粒，然后采用溶解方法从缓冲层上剥离合金软磁材料，获得固定直径和厚度的合金软磁颗粒。相比传统的机械球磨法，该方法获得的片状合金软磁颗粒具有低缺陷、低内应力及低损耗角正切等优势，而且可以精确控制合金软磁颗粒的直径和厚度，抑制所有磁性颗粒的涡流损耗。