激光诱导击穿光谱与声反射结合的在线监测系统及方法

摘要

本发明涉及激光加工的技术领域，更具体地，涉及激光诱导击穿光谱与声反射结合的在线监测系统及方法，包括三轴平台、飞秒激光加工系统、等离子体光谱检测系统、ICCD摄像系统及声反射检测系统、图像采集系统及控制端：待加工工件安装于三轴平台；等离子体光谱检测系统对等离子体辐射的光进行光谱分析；ICCD摄像系统拍摄激光作用产生的等离子照片；声反射检测系统检测加工过程待加工工件表面声音信号；图像采集系统实时拍摄待加工工件表面得到表面形貌照片。本发明结合激光诱导击穿光谱与声反射的优势，不仅可以监测扫线扫面加工过程声信号的变化，而且可实现在线原位检测，在不干扰中断加工过程的前提下，对物理过程变化及成分信息进行快速实时的监测。