一种基于并行探测的光学图像层析显微镜及其成像方法

摘要

本发明涉及一种基于并行探测的光学图像层析显微镜及其成像方法，光学图像层析显微镜包括光源、光学分束器、成像臂、参考臂、探测端、干涉信号获取单元和相位调制单元；光源发出的光经过光学分束器分为第一光束和第二光束，第一光束依次经过成像臂聚焦到被测物品上，并形成第一反射光原路返回探测端，第二光束经过参考臂反射，然后经过光学分束器到达探测端，相位调制单元设置在所述第一光束或所述第二光束的光束线路中，第一反射光和第二光束在探测端中发生干涉，并照射在干涉信号获取单元上，干涉信号获取单元用于从干涉光的每个像素中探测调幅干涉信号。与现有技术相比，本发明可以大幅度的提高信噪比。