一种标准数字接口的气体流量控制系统及控制方法

摘要

本发明属于仪器仪表技术领域，具体公开了一种标准数字接口的气体流量控制系统及控制方法，系统包括PC机、若干个气体流量控制器，以及实现PC机与气体流量控制器通讯连接的CAN总线，其中：气体流量控制器包括安装于气路管道上游的流量传感器和安装在气路管道下游的调节阀，以及，和流量传感器通过模数转换器连接的微处理器，连接于微处理器和CAN总线之间的CAN总线收发器，连接与微处理器和调节阀之间的数模转换器。本发明的标准数字接口的气体流量控制系统及控制方法，能够针对不同种类的气体对气体流量控制器实现对应的配置，不需要用户掌握气体流量控制器的工作原理以及不同气体之间的转换关系，减少了对用户的要求，支持多设备集群连接。