一种矩形腔柔性膜双振子无阀压电泵

摘要

本发明公布了一种矩形腔柔性膜双振子无阀压电泵，由上层泵体、上层泵腔密封圈、泵体内六角圆柱头螺钉、压电振子、上压电陶瓷片、振子铜基板、下压电陶瓷片、振子内六角圆柱头螺钉、弹性薄膜、流出口、下层泵体、下层泵腔密封圈、流入孔组成。所述下层泵体与流出口、流出口阻流体、流入口、流入口阻流体为一体结构，流入流出口为沿流体流动方向逐渐扩大的喇叭口形状，内有半圆形沟槽的波板以及“倒L”形状的复合阻流体。本发明中，压电振子与上层泵体装配，悬置于上层泵体中，同时与弹性薄膜紧贴并粘接，压电振子接入两组独立的电源，用以调整振子的工作模式，实现泵的最佳工作模式。