一种双体式的有热阵列波导光栅及其制作方法

摘要

本发明涉及一种双体式的有热阵列波导光栅及其制作方法，主要通过双体式结构在有热阵列波导光栅中心波长调节上创新。将有热阵列波导光栅主体分离成两个部分，在生产过程中通过重新耦合有热阵列波导光栅主体的两个部分，能够调节有热阵列波导光栅的中心波长。相对于现有方案本专利能够对超出工作温度范围的有热阵列波导光栅加以利用，提高了原材料的利用率；相对于现有方案本专利使工作温度点较高的有热阵列波导光栅在使用过程中仅需要更低的温度补偿，使有热阵列波导光栅工作在高于室温上限(如65℃)仅几摄氏度的小的温度范围，减少了大量能源的浪费。这样可以提高工序良率减少物料成本，有效提高制作效率，降低制作成本，同时对环境更友好。