一种低温下的微波器件S参数测量装置和测量方法

摘要

本发明提供了一种低温下的微波器件S参数测量装置和测量方法，所述测量装置包括网络分析仪和校准件，其特征在于还设有杜瓦罐、温度传感器和温度监测仪、低温微波开关和微波开关控制器、上位机。其中，校准件、低温微波开关和温度传感器安置在杜瓦罐内；网络分析仪、温度监测仪、微波开关控制器和上位机均安置在杜瓦罐外。基于本发明测量装置，可以在低温下实施SOLT和TRL两种校准方法，通过这两种校准方法可自动扣除低温下辅助测量器件的影响，精确地测出低温下待测微波器件的S参数，并利用两种校准方法获得的测量结果相互验证，判断其测量结果的准确性。同时，本发明测量装置还具有结构合理，稳定可靠的优点，适合推广使用。