粒子束设备

摘要

一种设备包括：用于封闭物品支撑件的真空腔；物品支撑件被配置为支撑物品使得在物品支撑件与物品之间限定有体积，物品支撑件包括被配置为为物品提供支撑平面的多个支撑突起；用于向该体积提供流体使得流体在物品与物品支撑件之间提供热传递的管路；以及用于控制向该体积的流体供应的控制器，其中控制器被配置为控制流体供应单元基本上在物品达到稳定温度时开始去除流体。