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光照射装置

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摘要

光照射装置具有光源(1)、投影光学系统(20)、楔形棱镜(30、40)和像差校正面(901)。投影光学系统(20)对基于从光源(1)发出的光形成的像进行投影。像差校正面(901)校正由投影光学系统(20)对像进行投影时产生的像差。楔形棱镜(30)使从投影光学系统(20)出射的光偏转。楔形棱镜(40)使由楔形棱镜(30)偏转后的光偏转。通过使楔形棱镜(30、40)被保持成至少一方旋转，来变更从楔形棱镜(40)出射的光的偏转方向。像差校正面(901)与投影光学系统(20)的出射面(202)相比配置于楔形棱镜(30)侧，包含楔形棱镜(30)的入射面(301)在内与楔形棱镜(30)相比配置于投影光学系统(20)侧。

著录项

  • 公开/公告号CN112166366A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-01-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三菱电机株式会社;

    申请/专利号CN201880093929.X

  • 发明设计人 诹访胜重;大岛律也;桑田宗晴;小岛邦子;

    申请日2018-06-04

  • 分类号G02B26/08(20060101);G03B21/14(20060101);B60Q1/02(20060101);F21V5/02(20060101);G02B26/10(20060101);

  • 代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人马建军;邓毅

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2023-06-19 09:23:00

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-12-06

    授权

    发明专利权授予

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