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感光半导体结构及其感光波段调节方法、组成的光电器件

摘要

本发明涉及一种感光半导体结构及其感光波段调节方法、组成的光电器件。调节感光半导体结构的感光波段的方法,包括:所述感光半导体结构包括衬底和感光层;向所述感光层进行处理a或处理b中的至少一种,其中:处理a:退火处理,退火温度为750‑1200℃,通过控制所述退火的温度和/或时间来调节感光波段;处理b:掺杂硼和/或磷,通过控制硼和/或磷的掺杂比例来调节感光波段。本发明可通过退火或掺杂处理调整感光层的折射率、消光系数,从而调节感光波段,扩展了感光器件类型及应用范围。

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  • 2022-06-21

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