用于去除电镀系统内的污染物的系统及方法

摘要

根据本技术的电镀系统可包括双浴槽电镀腔室，此双浴槽电镀腔室包括分隔器，配置成用以提供第一浴槽及第二浴槽之间的流体分离，此第一浴槽配置成用以在作业期间保持阴极电解液，此第二浴槽配置成用以在作业期间保持阳极电解液。此系统可包括阴极电解液槽，与此浴槽电镀腔室的此第一浴槽流体地耦接。此系统也可包括污染物提取系统，配置成用以去除此阴极电解液的污染物离子。