公开/公告号CN112136019A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-25
原文格式PDF
申请/专利权人 内克斯特纳夫有限公司;
申请/专利号CN201980033527.5
发明设计人 迈克尔·多莫迪;韩贵媛;巴德里纳特·纳加拉然;
申请日2019-03-26
分类号G01C5/06(20060101);G01C25/00(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人王萍;杨林森
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 09:18:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-08-29
授权
发明专利权授予
机译: 位置确定系统,用于校准机器可读介质的方法以及存储用于控制系统操作的指令的位置确定系统
机译: 用于传感器校准和位置确定的系统和方法
机译: 用于校准用于制造半导体器件的晶片的位置测量系统的方法,包括在生成第一,第二和第三测量信号期间在位置确定中应用校准规则