一种在有干扰条件下能精确控制设备压力的供排气系统

摘要

本发明公开了一种在有干扰条件下能精确控制设备压力的供排气系统，包括被控设备、压力储气罐、吸气过滤器、真空设备一、真空设备二、排气消声器；压力储气罐通过供气主管道与被控设备连通，供气主管道上有供气控制主阀；真空设备一通过抽气主管道一与被控设备连接，抽气主管道一有抽气控制主阀；真空设备二通过抽气主管道二连接抽气主管道一，抽气主管道二上有抽气截止阀；吸气过滤器通过补气管道连接到抽气主管道一，补气管路上设置有大气补气控制阀；排气消声器通过排气主管道与被控设备连接，排气主管道上设置有排气控制主阀，通过此系统可迅速精确地进行压力控制，调节后被控设备内压力波动小，遇到扰动时响应速度快。