氢传感器及其生产方法、测量装置、和氢浓度的测量方法

摘要

本发明涉及氢传感器(8)及其生产方法、测量装置(2)、和氢浓度的测量方法。用于测量环境(4)中的氢浓度的氢传感器(8)包括基材(10)，在基材上在与所述环境连通的传感器区域(12)中施加有作为薄膜的吸氢传感器介质(14)，其中传感器介质(14)取决于传感器介质(14)中的氢浓度而改变其体积，并且所述体积的变化引起基材(10)中由传感器介质(14)引入的机械应变的变化。的进一步开发氢传感器(8)在于基材(10)的至少传感器区域(12)内是压阻半导体。