搭载光电阴极的电子枪的入射轴对齐方法、计算机程序以及搭载光电阴极的电子枪

摘要

提供一种用以将从搭载光电阴极的电子枪所射出的电子束自动地对齐于电子光学系统的入射轴的方法。搭载光电阴极的电子枪的入射轴对齐方法中，所述电子枪可以通过对所述光电阴极照射激励光来射出第一状态的电子束；所述方法至少包含：激励光照射工序；第一激励光照射位置调整工序，其使所述激励光对所述光电阴极的照射位置变化，且调整所述激励光的照射位置；以及电子束中心检测工序，其检测所述第一状态的电子束的中心线与电子光学系统的入射轴是否已一致。