公开/公告号CN112119354A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-22
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201980032517.X
申请日2019-04-16
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王益
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 09:15:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-08-15
授权
发明专利权授予
机译: 结构分析方法,结构分析装置,结构分析程序,用于结构分析的物理性质计算方法,用于结构分析的物理性质计算装置以及用于结构分析的物理性质计算程序
机译: 用于计算结构的电磁散射特性以及估计其几何和材料参数的方法和设备
机译: 计算结构的电磁散射特性的方法,重构物体的近似结构的方法,检查装置,计算机程序,计算机可读介质