一种基于RCWA的偏振体光栅衍射光线追迹仿真系统及方法

摘要

本发明公开了一种基于RCWA的偏振体光栅（PVG）衍射光线追迹仿真系统及方法。本发明利用RCWA分析理论，将各向异性周期性光栅结构展开为傅里叶级数，利用边界条件求解出入射光线的衍射特性，然后结合蒙特卡罗方法对光线追迹算法进行优化，提高了仿真精度和运算速度。该模型能够快速计算给定参数下光栅的衍射特性，包括衍射级次、传播方向、衍射效率、偏振态分析，具有很好的移植性，通过动态链接库（DLL）能够应用于商用光学仿真软件ZEMAX，实现光线追迹仿真。