公开/公告号CN112082381A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-15
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申请/专利权人 徐州瑞朗高科石英有限公司;
申请/专利号CN201910508847.3
发明设计人 何猛;
申请日2019-06-13
分类号F27B14/06(20060101);F27B14/08(20060101);F27B14/14(20060101);F27B14/20(20060101);F27D17/00(20060101);
代理机构
代理人
地址 221400 江苏省徐州市新沂市窑湾镇王楼街汇源东路
入库时间 2023-06-19 09:10:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-02-08
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):F27B14/06 专利申请号:2019105088473 申请公布日:20201215
发明专利申请公布后的撤回
机译: 公开了一种高熔点金属硅化物靶,其制备方法,高熔点金属硅化物薄膜以及半导体器件。高熔点金属硅化物靶是高熔点金属硅化物薄膜和高熔点金属硅化物薄膜。
机译: 用于生产加工的生产加工系统控制装置,用于控制生产加工的方法和用于生产加工的控制程序
机译: 生产加工系统,生产加工控制装置,生产加工控制方法以及生产加工控制程序