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使用光致发光光谱的用于OLED制造的计量

摘要

一种用于确定光致发光(PL)层的特性的设备,包括:光源,所述光源产生激发光,所述激发光包含来自可见或近可见光谱的光;光学组件,所述光学组件被配置为将激发光引导到PL层上;检测器,所述检测器被配置为接收PL发射,并基于PL发射产生信号,所述PL发射由PL层响应于与PL层相互作用的激发光而产生;以及计算装置,所述计算装置耦接至检测器,且计算装置被配置为接收来自检测器的信号,并基于所述信号确定PL层的特性。

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  • 2022-05-13

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