提高检测速度的投影物镜波像差检测装置及检测方法

摘要

一种投影物镜波像差检测装置及检测方法，该投影物镜波像差检测装置包括光源及照明系统、物面光栅、物面位移台、被测投影物镜、像面光栅、二维光电传感器、像面位移台和控制处理单元。本发明通过物面光栅采用周期增大1倍的振幅相位混合光栅，抑制±1级衍射级次以外的其他衍射级次，像面光栅可采用棋盘光栅，降低了系统成本，提高了波像差检测速度和精度。