法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-12-16
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01S13/90 专利申请号:2020108944685 申请公布日:20201201
发明专利申请公布后的驳回
机译: 用于光刻技术的基于金刚石的监测设备,以及一种包括基于金刚石的监测设备的光刻设备
机译: 用于光刻技术的基于金刚石的监测设备,以及一种包括基于金刚石的监测设备的光刻设备
机译: 基于至少一个组件和生成的产品的视点来表征样品的两种或多种技术以及提供表征数据的至少一种样品的分析方法,系统和指示程序