公开/公告号CN111971551A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-20
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201980025007.X
申请日2019-04-10
分类号G01N23/201(20180101);G01N23/04(20180101);G01N21/21(20060101);G01B15/04(20060101);G03F7/20(20060101);G06N20/00(20190101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人樊英如;张华
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 08:58:14
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