硅基片上傅里叶变换光谱仪及获得光源重构光谱的方法

摘要

一种硅基片上傅里叶变换光谱仪及获得光源重构光谱的方法，所述的光谱仪包括波导输入耦合器、级联光开关、非等臂亚波长光栅(SWG)波导对和锗硅探测器，所述的级联光开关通过非等臂SWG波导对连接。通过调节光开关状态选通光路，构成具有不同光程差的一系列非等臂马赫‑增德尔干涉器(MZI)阵列，实现基于空间外差相干的傅里叶变换光谱仪，并利用压缩感知算法对光谱进行重构。相比于传统无源MZI阵列结构，可以有效降低芯片尺寸、提高采样点数；非等臂SWG波导对可以有效提高芯片温度稳定性、扩大工作带宽。本发明能够满足傅里叶变换光谱仪对于小型化、便携化的应用需求，并能够解决现有硅基片上光谱仪普遍对温度敏感的问题。