可调谐激光器硅基混合集成及可调谐激光器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种可调谐激光器硅基混合集成及可调谐激光器及其制备方法，可调谐激光器硅基混合集成包括硅基衬底以及可调谐面发射水平腔激光器，可调谐面发射水平腔激光器包括外延结构本体，外延结构本体的上端沿波导传输方向间隔设置有长度不同的多段脊型波导，实现不同间距的梳状谱的叠加，外延结构本体的上端设有N电极和多个P电极，外延结构本体的水平腔脊型波导上设有面发射垂直耦合光栅，用于实现水平谐振腔激光的垂直耦合面发射，可调谐面发射激光器倒装在硅基衬底上，硅基衬底上设有的多个焊盘，多个焊盘的上端用于分别与可调谐面发射激光器的N电极、多个P电极一一对应焊接。其通过失谐多阶光栅的垂直耦合以实现面发射与硅基混合集成。