双斐索腔动态短相干干涉测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种双斐索腔的动态短相干干涉测量装置及方法，该装置包括：用于产生两对正交偏振光的双斐索腔短相干照明系统，用于对正交偏振光扩束准直的扩束系统，用于构成s波斐索干涉腔和p波斐索干涉腔的双斐索干涉腔，用于对反射光束准直缩束的准直系统，用于调节双斐索干涉腔反射光束中s波的传播方向的s波通道，用于调双斐索干涉腔反射光束中p波的传播方向的p波通道，用于分离s波斐索干涉腔和p波斐索干涉腔的反射光束的分光系统，用于获取双斐索腔的干涉信息，并对待测面成像的成像系统。本发明能有效降低环境振动对波前测量的影响，且具有测量精度高、速度快等优点，可有效用于复杂环境下对光学面形的高精度测量。