一种同时支持TE、TM模式的混合等离激元波导

摘要

本发明公开了一种同时支持TE、TM模式的混合等离激元波导，该波导能在不激发传统模式波导的前提下，在垂直、水平方向上分别支持TM、TE的混合等离激元模式。在垂直、水平方向上各有三层结构：以SiO2为衬底，在垂直方向上第一层结构是高折射率材料Si，第二层结构是低折射率材料SiO2，第三层结构是金属Ag；在水平方向上第一层结构是高折射率材料Si且与水平方向的第一层结构一致，第二层结构是低折射率介质空气，第三层结构是金属Ag。所述垂直、水平方向的第二层结构均位于第一层与第三层结构之间。此波导实现了对光波偏振态的控制，为实现需要偏振控制的各种应用的高密度集成提供了可能。