一种压电陶瓷振子驱动的精密微流控泵及其使用方法

摘要

本发明涉及微流控技术领域，且公开了一种压电陶瓷振子驱动的精密微流控泵，包括壳体，所述壳体的左侧面连通有进口接头，所述进口接头的右端连通有进口阀门，所述壳体的右侧面连通有出口接头，所述出口接头的左端连通有出口阀门，所述壳体的下表面设置有金属基板，所述金属基板的下表面设置有压电陶瓷振子，通过一系列结构的设置使得本装置安装简化，通过改进压电振子致动器的固定方法，采用防水固态胶膜取代传统的U形硅胶圈或者胶水，连接固定压电陶瓷振子致动器的同时也获得良好的密封防水功能。