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一种测量微棱镜反射波前的干涉仪

摘要

本发明公开了一种测量微棱镜反射波前的干涉仪,与干涉仪本体相对应,干涉仪本体上安装有镜头;所述镜头的前方安装有待测的棱镜;所述镜头上设置有球面镜片,球面镜片的光线直射到待测的棱镜上;所述待测的棱镜的一侧设置有球面反射镜;球面反射镜的凹面面对待测的棱镜。本发明能够实现与实际使用场景完全吻合的效果,并且检测结果能够真实反映微棱镜面形对光学系统的影响,可靠性得到了大幅度的提升。

著录项

  • 公开/公告号CN111854983A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-10-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海乾曜光学科技有限公司;

    申请/专利号CN202010863744.1

  • 发明设计人 祝沛;

    申请日2020-08-25

  • 分类号G01J9/00(20060101);G01J9/02(20060101);G01M11/02(20060101);

  • 代理机构31328 上海助之鑫知识产权代理有限公司;

  • 代理人王风平

  • 地址 201800 上海市嘉定区恒永路328弄59号

  • 入库时间 2023-06-19 08:47:24

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