一种测量微尺度金属样品电阻率的装置和方法

摘要

本发明涉及一种测量微尺度金属样品电阻率的装置和方法，首先在基板上制作测试电极及测温电极，将样品置于基板之上，与测试电极连接，测试电极连接四线法电阻测量电路；将基板置于加热台上，基板及加热台均放入一真空腔室，通过调整温度，绘制电阻率随温度的变化关系曲线。本发明可对各种形状、更小尺寸的样品测量电阻率，根据样品的尺寸和形状选择不同的沉积电极的工艺。