公开/公告号CN111868609A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-30
原文格式PDF
申请/专利权人 奥林匹斯冬季和IBE有限公司;德国弗劳恩霍夫应用研究促进协会;
申请/专利号CN201980020316.8
申请日2019-03-06
分类号G02B27/62(20060101);G01B11/27(20060101);G01M11/02(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人王小东;黄纶伟
地址 德国汉堡
入库时间 2023-06-19 08:42:38
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-01-20
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02B27/62 专利申请号:2019800203168 申请公布日:20201030
发明专利申请公布后的视为撤回
机译: -根据这样的衍射光学元件中的任一个的制备衍射光学元件的方法,具有这种衍射光学元件的照明光学器件,-具有这种透镜系统的微光刻投影曝光设备,用于制造具有该光学系统的微电子部件的方法。使用这种投影曝光设备以及通过该方法生产的这种组件
机译: -根据这样的衍射光学元件中的任一个的制备衍射光学元件的方法,具有这种衍射光学元件的照明光学器件,-具有这种透镜系统的微光刻投影曝光设备,用于制造具有该光学系统的微电子部件的方法。使用这种投影曝光设备以及通过该方法生产的这种组件
机译: 内窥镜光学系统中光学元件中心的组合方法