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图像传感器金属栅格版图的生成方法及金属栅格光罩图形

摘要

本发明提供了一种图像传感器金属栅格版图的生成方法及金属栅格光罩图形。生成方法包括:获取原始金属栅格版图的数据信息,并绘制第一金属栅格版图,所述第一金属栅格版图中包含多个金属栅格,所述各个金属栅格为直角矩形;基于版图逻辑运算文件中的版图运算规则,对所述第一金属栅格版图进行逻辑运算,得到第二金属栅格版图,所述第二金属栅格版图中的各个金属栅格的边角形状为多边形角或者圆角。由于在金属栅格为矩形形状的金属栅格版图的基础上,对其进行一系列的版图逻辑运算,生成边角为特殊形状的金属栅格版图;因此,版图设计工程师无需手工绘制复杂的特殊形状的金属栅格版图,从而提高了版图设计和生成的效率,降低了版图设计的成本。

著录项

  • 公开/公告号CN111834384A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-10-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;

    申请/专利号CN202010832168.4

  • 发明设计人 丁琦;杨婷;

    申请日2020-08-18

  • 分类号H01L27/146(20060101);

  • 代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人曹廷廷

  • 地址 201315 上海市浦东新区良腾路6号

  • 入库时间 2023-06-19 08:41:05

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