用于电化学传感器的高表面积电极

摘要

本发明涉及与基于微机电系统(MEMS)的电化学传感器相关的装置和相关联的制造方法，该装置和相关联的制造方法包括接触布置在基板上的两个或更多个电极的电解质，以及设置在传感器的至少感测电极的顶部上的高表面积电极。高表面积电极的各种实施方案可增大由基于MEMS的电化学传感器响应于一种或多种目标化学物质或气体而产生的电流或电势，并且允许制造和操作较小的电化学传感器。电极可电耦合到控制和测量电路。在一些示例中，控制和测量电路可形成于同一基板上。