用于深紫外(DUV)光学成像系统的任意波前补偿器

摘要

本发明揭示一种系统，其包含：光源，其用于产生照射射束；及照射透镜系统，其用于朝向样本引导所述照射射束。所述系统进一步包含：收集透镜系统，其用于响应于所述照射射束而朝向检测器引导来自所述样本的输出光；及检测器，其用于从所述样本接收所述输出光。所述收集透镜系统包含具有可个别选择的滤波器的固定设计补偿器板，所述可个别选择的滤波器具有不同配置以便在不同操作条件下校正所述系统的系统像差。所述系统也包含控制器，其可操作用于：(i)产生并朝向所述样本引导所述照射射束，(ii)选择操作条件及滤波器以便在此些所选择操作条件下校正所述系统像差，(iii)基于所述输出光产生图像，及(iv)基于所述图像确定所述样本是否通过检验或表征此样本。