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对至少一个工件的目标表面进行化学镀金属化的装置

摘要

本发明涉及一种对至少一个工件(2)的目标表面(3)进行化学镀金属化的装置,包括:‑用于容纳金属化溶液(7)的容器(5),‑布置在所述容器的底部(6)的用于金属化溶液(7)的入口(8)和布置在所述容器(5)的顶部的用于金属化溶液(7)的出口,‑用于保持至少一个工件(2)的支架,其中,所述支架通过运动装置(13)可以相对于所述容器(5)在至少两个维度上运动。

著录项

  • 公开/公告号CN111836917A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-10-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 AP&S国际股份有限公司;

    申请/专利号CN201980014985.4

  • 发明设计人 J·希尔德布兰德;

    申请日2019-01-27

  • 分类号C23C18/16(20060101);B05C3/04(20060101);

  • 代理机构11410 北京市中伦律师事务所;

  • 代理人钟锦舜;魏奇

  • 地址 德国多瑙埃兴根

  • 入库时间 2023-06-19 08:39:31

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-10-31

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C18/16 专利申请号:2019800149854 申请公布日:20201027

    发明专利申请公布后的驳回

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