一种仿生蝴蝶磷翅微纳结构的制备方法

摘要

本发明提供一种仿生蝴蝶磷翅微纳结构的制备方法，所述制备方法包括：提供一衬底；在所述衬底的上表面刻蚀出第一光栅结构；在所述衬底的上表面外延交替生长AlXGa1‑XAs薄层和GaAs薄层，以在所述衬底的上表面形成外延层；在所述外延层的上表面刻蚀出第二光栅结构，所述第二光栅结构的光栅周期为所述第一光栅结构的光栅周期的两倍，且所述第二光栅结构的刻蚀深度等于所述外延层的高度；对每一所述AlXGa1‑XAs薄层进行氧化，以将所述AlXGa1‑XAs薄层转化成为AL2O3薄层；对每一所述GaAs薄层进行选择性蚀除，得到所述仿生蝴蝶磷翅微纳结构。本发明开发出可行的适用于高效率、低成本的大批量制备仿仿蝴蝶磷翅微纳结构的方法，促进仿生微纳结构的制备和应用。