公开/公告号CN111819654A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-23
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201980017872.X
申请日2019-02-21
分类号H01J37/28(20060101);H01J37/147(20060101);H01J37/29(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人董莘
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 08:36:28
机译: 具有改善的信号电子检测性能的多束检查装置
机译: 信号电子检测性能得到改善的多光束检测装置
机译: 信号电子检测性能得到改善的多光束检测装置