一种用于微晶玻璃的化学机械抛光液

摘要

本发明公开了一种用于微晶玻璃的化学机械抛光液，其组成成分及质量百分含量如下：复合磨料10％‑30％、前腐蚀剂0.1％‑0.5％、表面活性剂0.05％‑2％、分散剂1‑5％、螯合剂0.02％‑1％、pH调节剂0.5％‑1％、超纯水余量，复合磨料由二氧化硅、二氧化铈、二氧化锆、二氧化钛纳米粒子组成；本发明采用二级处理机制，采用前腐蚀剂进行表面腐蚀，得到平滑、透明的表面，减少抛光量，提高工作效率；进行酸腐蚀后再利用碱将二氧化硅进行转化为可溶于水地物质，不仅可以加快反应速率，也能有效降低表面粗糙度；复合磨料采用多种组合，能够提高抛光出去率，进一步提升工作效率。