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一种降低银表面高能区二次电子发射系数的方法

摘要

本发明涉及一种降低银表面高能区二次电子发射系数的方法,属于真空电子学二次电子发射抑制技术领域,尤其涉及一种利用薄膜降低银表面高能区二次电子发射系数的方法,所述的高能区是指入射到银表面电子的能量范围为250‑3000ev。采用NPB材料为薄膜材料,有效降低了银表面高能区的二次电子发射系数。可在银表面大面积制备NPB薄膜,降低了薄膜制备成本。本发明提出的方法对银基底没有温度等特殊要求,在抑制二次电子倍增效应领域具有广泛的应用前景。

著录项

  • 公开/公告号CN111748769A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-10-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 西安空间无线电技术研究所;

    申请/专利号CN202010495917.9

  • 申请日2020-06-03

  • 分类号C23C14/12(20060101);C23C14/24(20060101);

  • 代理机构11009 中国航天科技专利中心;

  • 代理人张丽娜

  • 地址 710100 陕西省西安市长安区西街150号

  • 入库时间 2023-06-19 08:30:12

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-08-12

    授权

    发明专利权授予

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