涂覆蒸发基底和产生至少部分封装的基底的方法，其装置和产品

摘要

本发明涉及涂覆蒸发基底和产生至少部分封装的基底的方法，其装置和产品。提供了一种用于涂覆蒸发基底的方法和装置，其中当所述基底经历从基本上液相到气态相的相变的时间期间，膜涂层12沉积在基底10的至少一部分上。在蒸发基底材料的至少一部分时形成的气态物质101当经历在气态相中化学沉积反应时产生微粒11，所述微粒11形成至少一个涂层以产生膜涂层12。