公开/公告号CN111735489A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-02
原文格式PDF
申请/专利号CN202010538483.6
申请日2020-06-13
分类号G01D18/00(20060101);G01K15/00(20060101);
代理机构44528 深圳中细软知识产权代理有限公司;
代理人王锴
地址 518000 广东省深圳市南山区南山街道南海大道海王大厦A座23楼AC
入库时间 2023-06-19 08:27:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-07-04
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01D18/00 专利申请号:2020105384836 申请公布日:20201002
发明专利申请公布后的驳回
机译: 校准光刻设备的方法,对准方法,计算机程序,数据存储介质,光刻设备和装置制造方法
机译: 校准光刻设备的方法,对准方法,计算机程序,数据存储介质,光刻设备和装置制造方法
机译: 基于双目相机校准,计算机设备和存储介质的步行轨迹跟踪方法和装置