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柔性自支撑单晶磁性Fe3O4薄膜材料的制备、薄膜材料及应用、单晶结构

摘要

本发明涉及柔性自支撑单晶磁性Fe3O4薄膜材料的制备方法、单晶磁性Fe3O4薄膜及其应用、单晶结构;制备方法包括如下步骤:选择晶面取向为(001)的STO基片;在STO基片上制备单晶SAO层;在单晶SAO层上制备单晶磁性Fe3O4薄膜,形成STO/SAO/Fe3O4单晶结构;将制得的STO/SAO/Fe3O4单晶结构浸泡于水中溶解单晶SAO层,STO基片与单晶磁性Fe3O4薄膜分离,制得柔性自支撑单晶磁性Fe3O4薄膜材料。柔性自支撑单晶磁性Fe3O4薄膜材料具有优异的柔性、自支撑特性,室温下饱和磁化强度大,在柔性自旋电子器件等领域具有广阔的应用前景。

著录项

  • 公开/公告号CN111733452A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-10-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳先进技术研究院;

    申请/专利号CN202010366848.1

  • 申请日2020-04-30

  • 分类号C30B23/02(20060101);C30B23/06(20060101);C30B29/16(20060101);C30B29/22(20060101);C30B33/10(20060101);H01L43/10(20060101);

  • 代理机构11508 北京维正专利代理有限公司;

  • 代理人诸炳彬

  • 地址 518000 广东省深圳市南山区西丽街道大学城学苑大道1068号

  • 入库时间 2023-06-19 08:27:06

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