使用故障预测模型监视操作过程

摘要

一种用于监视操作性操作以预测操作性操作中的故障的监视系统和方法。该操作性操作可以包括制造系统的过程，其包括多个制造阶段。所述监视可包括一些传感器，这些传感器用于测量制造系统的各方面，以根据预测模型来检测指示系统潜在故障的趋势。可以在监视系统的在线操作期间更新预测模型。