一种提升太阳电池中多晶硅钝化接触结构钝化性能的方法

摘要

本发明涉及太阳电池技术领域，具体讲是一种提升太阳电池中多晶硅钝化接触结构钝化性能的方法，本发明公开了一种提升太阳电池中多晶硅钝化接触结构钝化性能的方法，包括以下步骤：将多晶硅钝化接触结构在含水蒸气气氛下进行中低温热处理；本发明对不同钝化水平的TOPCon钝化片都有提升作用；处理方法多样化，工艺窗口大，重复性强，所需设备简单，其工艺完全适用于TOPCon电池的背钝化。经过上述方法处理后，基本上能够将n‑TOPCon的iVoc显著提升。