一种稀有气体氪氙精制及超纯氧的生产装置以及生产工艺

摘要

本发明属于一种稀有气体氪氙精制及超纯氧的生产装置以及生产工艺；包括液氧储罐，所述液氧储罐通过液氧泵和低温吸附塔与初级浓缩塔相连；所述初级浓缩塔的塔底液相出口与末端带有高压节流阀的催化氧化系统相连；所述高压节流阀依次通过回冷器的管程、次级浓缩塔、氪氙脱氧塔以及气体加热装置与用于存储和分离氪氙的氪氙分离塔，氪氙分离塔的底部通过第一阀门与氙气充装系统相连，氪氙分离塔的中上部通过第二阀门与氪气充装系统相连；具有结构简单、流程设计合理、成本相对低廉、运行安全、收率高、稀有气体纯度高、经济节能、应用范围广、在有效制备氪氙的前提下能够有效分类回收氧气的优点。