一种钽基抗腐蚀防护复合涂层及其制备方法与应用

摘要

本发明公开了一种钽基抗腐蚀防护复合涂层及其制备方法与应用。所述制备方法包括：所述复合涂层主要由Ta层和Ta(AlSi)C层交替叠加形成，所述Ta(AlSi)C层是由Al和/或Si掺杂TaC形成的，所述Ta(AlSi)C层具有面心立方晶体结构，所述Ta层具有体心立方结构。本发明制备的钽基抗腐蚀防护复合涂层有典型的面心立方结构，且所述Ta(AlSi)C层的晶粒尺寸在10nm以下，Ta层具有体心立方结构，复合涂层同时表现出较好的热稳定性和抗氧化性能；本发明通过简单的磁控溅射方法，在较低温度下沉积得到结晶性非常好且表现出优异的钽基抗腐蚀防护复合涂层，在海洋腐蚀防护领域有潜在的应用前景。