微机械反射镜装置、反射镜系统和用于制造微机械反射镜装置的方法

摘要

本发明涉及一种微机械反射镜装置、一种反射镜系统以及一种用于制造微机械反射镜装置的方法。该反射镜装置构造有：平面地构造的第一反射镜元件（10）；平面地构造的第二反射镜元件（20）；其中，所述第一和第二反射镜元件（10、20）基本上平面平行地布置；其中，在所述第一和第二反射镜元件（10、20）之间的中间空间（40）具有比所述第一和/或第二反射镜元件（10、20）更小的折射率；其中，所述第一和第二反射镜元件（10、20）局部地通过至少一个支撑结构（130）彼此间隔开地布置；并且其中，所述至少一个支撑结构（130）在垂直于所述第一和第二反射镜元件（10、20）布置的轴向方向（A）上与所述第一和第二反射镜元件（10、20）重叠；并且其中，所述至少一个支撑结构（130）具有如下一种材料或者由如下材料构成，所述材料与构成所述第一和/或第二反射镜元件（10、20）的材料不同。