一种具有超高重复频率的IPOP系统构架式高压微秒脉冲电源

摘要

本发明公开了等离子体放电技术领域的一种具有超高重复频率的IPOP系统构架式高压微秒脉冲电源，包括主功率部分和控制信号部分，所述主功率部分由AC‑DC整流模块可调输出单元、N路微秒脉冲电源功率模块以及等离子体放电负载单元构成，所述控制信号部分由初始PWM信号发生单元、(N‑1)路移相交错控制单元以及以及N路微秒脉冲电源模块的PWM信号输入接口组成，用的多模块式IPOP的分布式架构，在满足相同功率等级条件下，整机体积减小，功率密度增加，效率高且低成本。