用于CMOS传感器上的超声换能器的压力端口

摘要

描述了具有压力端口的微机械超声换能器。该微机械超声换能器可以包括被配置成在腔上方振动的柔性膜。在某些情况下，腔可以被膜本身密封。压力端口可以提供到腔的通路，从而控制腔压力。在一些实施方式中，提供了一种包括微机械超声换能器阵列的超声装置，其具有用于超声换能器中的至少一些的压力端口。压力端口可以被用来控制整个阵列上的压力。