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十字丝图案单元、分划板及测量逆投影光路放大倍率的方法

摘要

本发明涉及十字丝图案单元、分划板、测量逆投影光路放大倍率的方法和采用所述的十字丝图案单元建立被测镜头的MTF曲线二维坐标图的方法。它包括设置在十字丝图案单元中部的十字丝图案,在十字丝图案分隔成的四个象限中均设有一个定位点,且相邻两个象限中的定位点的连线均平行于十字丝图案的其中一根线。本发明由于该十字丝图案单元中设有定位点,方便通过测量定位点的距离来确定测量的共轭光路的放大倍率;该测量放大倍率的方法,能解决在线测量MTF默认同一批次的待测镜头的放大倍率相同带来误差的难题,使得MTF的结果计算可以使用真实的放大率而不是批量预设的放大率数值,提高了测量精度。

著录项

  • 公开/公告号CN111982472A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-11-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 福州锐景达光电科技有限公司;

    申请/专利号CN202010825866.1

  • 发明设计人 孙宏;

    申请日2020-08-17

  • 分类号G01M11/02(20060101);

  • 代理机构35220 福州市众韬专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人陈智雄

  • 地址 350000 福建省福州市鼓楼区软件大道89号软件园C区8号楼一层

  • 入库时间 2023-06-19 08:04:59

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-06-21

    授权

    发明专利权授予

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