公开/公告号CN111982472A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-24
原文格式PDF
申请/专利权人 福州锐景达光电科技有限公司;
申请/专利号CN202010825866.1
发明设计人 孙宏;
申请日2020-08-17
分类号G01M11/02(20060101);
代理机构35220 福州市众韬专利代理事务所(普通合伙);
代理人陈智雄
地址 350000 福建省福州市鼓楼区软件大道89号软件园C区8号楼一层
入库时间 2023-06-19 08:04:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-21
授权
发明专利权授予
机译: 具有分划板的分划板以及在分划板中设置分划板的方法,使用这种分划板的半导体器件的制造工艺。
机译: 惰性气体置换方法及装置,分划板储料器,分划板检查系统,分划板搬送箱,装置的制造方法
机译: 惰性气体吹扫方法及装置,曝光装置,分划板储存器,分划板检查装置,分划板交接箱及装置的制造方法