公开/公告号CN111982245A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-24
原文格式PDF
申请/专利号CN202010667827.3
申请日2020-07-13
分类号G01F25/00(20060101);
代理机构44224 广州华进联合专利商标代理有限公司;
代理人唐彩琴
地址 518048 广东省深圳市福田区莲花街道福中社区深南中路中广核大厦北楼6层
入库时间 2023-06-19 08:04:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-08-08
授权
发明专利权授予
机译: 校准光刻设备的方法,对准方法,计算机程序,数据存储介质,光刻设备和装置制造方法
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机译: 基于双目相机校准,计算机设备和存储介质的步行轨迹跟踪方法和装置